由于溴化锂吸收式机组筒体的充气压力受到限制和观察时间过长，不能满足低检漏率的检测要求。为进一步提高机组的气密性，压力检漏合格后，还需要再进行卤素检查。卤素检查用电子卤素检漏仪(晶体管检漏仪)。
卤素检漏方法:先将机组抽空至5OPa的绝对压力，然后向机组内充入一定比例的氮气和氟利昂(如R22等)。一般来说，氟利昂约占20%。气体充分混合后，再用卤素检漏仪对焊缝、阀门、法兰密封面及螺纹接头等处检漏。
卤素检漏合格后，机组需抽成真空状态，但机组中的氟利昂难以抽空。由于氟利昂扩散性很强，因此，在机组抽成真空后，再向机组内充灌一些氮气，与机组内残留的氟利昂混合，再将机组抽至真空。这样反复几次，最后将机组抽至高真空状态。
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