电容式传感器具有结构简单、灵敏度高、分辨力高、能感受0.01μm甚至更小的唯一、无反作用力、动态响应号、能实现非接触测量、能在恶劣环境下工作等优点，而且随着新工艺、新材料问世，特别是电子技术的发展，使干扰和寄生电容等问题不断得到解决，因此越来越广泛应用于各种测量中，电容式传感器可用来测量直线为宜、角位移、振动振幅（可测至0.05μm微小振幅），尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量，还可用来测量压力、压差力、液位、料面、成分含量（如油、粮食中的含水量）、非金属次啊聊的土层、油膜等厚度，测量电介质的师傅、密度、厚度等等。
在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器，当测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单边式变极距型电容传感器，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极则是在传感器内。
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