清洗设备的制作方法

本实用新型涉及清洁设备技术领域，尤其涉及一种清洗设备。

背景技术：

在光学元件的生产过程中，需要对光学元件进行清洁处理，以保证其生产质量。如图1所示，提供一个需进行清洁处理的工件100，工件100包括一个支撑板101，支撑板101上设置有限位件102，光学玻璃片200通过限位件102安装固定在支撑板101上。支撑板101还设置有镂空部，以使支撑板101能够对光学玻璃片200进行遮光或者透光，以满足光学玻璃片200的制作工艺需要。为保证光学玻璃片200的表面清洁度，需要利用清洗设备对其进行清洁处理。现有的清洗设备主要采用气体清洗的方式对工件100进行清洁处理，清洗设备向工件100喷射气体，以使工件100表面的异物在气体的作用力下与工件100分离。对于一些粘附力较强的异物，气体清洗的方式很难使异物与工件100分离，进而导致工件100的清洁质量难以符合要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种清洗设备，其清洁质量好。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种清洗设备，包括气体清洗机和等离子清洗机，所述气体清洗机包括排气装置和供气装置，所述排气装置包括排气管道，所述供气装置包括气体喷嘴，所述气体喷嘴设置于所述排气管道的一端，所述气体喷嘴能够向工件表面喷射气体，以使所述工件表面的异物与所述工件分离，所述排气管道从所述工件表面吸取所述气体，所述等离子清洗机用于对所述工件表面进行清洁处理。

作为清洗设备的一种优选方案，所述气体喷嘴为两个，两个所述气体喷嘴沿所述工件的运动方向间隔设置，且两个所述气体喷嘴分别位于所述排气管道的两侧。

作为清洗设备的一种优选方案，所述气体喷嘴设置有用于气体流通的喷射口，所述喷射口的轴线方向与所述工件表面呈夹角设置，且所述喷射口朝向所述排气管道的进气口。

作为清洗设备的一种优选方案，所述喷射口的长度不小于所述工件的宽度。

作为清洗设备的一种优选方案，所述等离子清洗机包括等离子喷枪，所述等离子喷枪设置于所述气体喷嘴的外侧壁上。

作为清洗设备的一种优选方案，所述等离子喷枪活动设置于所述外侧壁上，并使所述等离子喷枪能够沿所述气体喷嘴的长度方向运动。

作为清洗设备的一种优选方案，所述等离子喷枪设置有多个，多个所述等离子喷枪沿所述工件的运动方向间隔设置。

作为清洗设备的一种优选方案，所述排气管道包括第一管段和第二管段，所述排气管道的进气口设置于所述第一管段上，所述排气管道的出气口设置于所述第二管段上，所述第一管段与所述第二管段呈夹角连接。

作为清洗设备的一种优选方案，还包括机械手，所述机械手用于运送所述工件。

作为清洗设备的一种优选方案，还包括检测装置，所述检测装置用于检测所述工件表面的异物。

本实用新型相比于现有技术的有益效果：

本实用新型的清洗设备，通过设置气体清洗机和等离子清洗机，气体清洗机通过供气装置向工件喷射气体，并通过排气装置将气体排出，可有效避免异物在工件附近区域停留。同时，通过等离子清洗机对工件上吸附力较强的异物以及气体清洗机难以清理的异物进行清洁处理，起到对气体清洗机互补的作用，进而保证对工件的清洁质量。

附图说明

图1为本实用新型的工件的示意图。

图2为实施例的清洗设备和工件的示意图。

图3为实施例的清洗设备的剖视图。

图中：

100、工件；101、支撑板；102、限位件；200、光学玻璃片；

1、排气管道；11、第一管段；110、进气口；12、第二管段；2、气体喷嘴；20、容纳腔；21、喷射口；22、导流板；23、安装板；3、等离子喷枪；4、机械手。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

实施例一

参照图2和图3所示，提供一种清洗设备，用于对工件100上的异物进行清洁处理，该清洗设备包括气体清洗机和等离子清洗机。气体清洗机包括排气装置和供气装置，供气装置用于向工件100喷射气体，并依靠气体的动能使工件100表面上的异物与工件100分离，异物分离后随气体漂浮。排气装置用于从工件100的表面吸取气体，以使气体和随气体漂浮的异物通过排气装置排出，达到对工件100表面清洁处理的目的。排气装置包括排气管道1，排气管道1的一端为进气口110，排气管道1的另一端为出气口，进气口110朝向工件100，排气管道1靠近出气口的一端设置有风机，风机用于驱动气体从排气管道1的进气口110向出气口流通。供气装置包括气体喷嘴2，气体喷嘴2具有能够容纳气体的容纳腔20，容纳腔20通过输气管与储气设备连接。容纳腔20靠近工件100的一端设置有喷射口21，喷射口21连通容纳腔20与气体喷嘴2的外部，容纳腔20内的气体通过喷射口21喷射至工件100。气体喷嘴2设置于排气管道1靠近进气口110的一端，以使气体喷嘴2喷射气体至工件100的表面后，气体可及时被排气管道1吸取，减少异物在工件100附近区域漂浮的时间，避免随气体漂浮的异物重新回到工件100上。等离子清洗机用于对工件表面进行清洁处理，等离子清洗机是利用等离子体来实现对工件100上异物的清洁处理，由于等离子体包含离子、电子、原子、活性基团、光子等活性组分，有利于对工件100上粘附力较强的异物进行清洁处理，以保证对工件100的清洁质量。

具体地，气体喷嘴2为两个，两个气体喷嘴2沿工件100的运动方向间隔设置，且两个气体喷嘴2分别位于排气管道1的两侧。本实施例中，该清洗设备还包括机械手4，机械手4设置有用于放置工件100的安装平台，工件100安装在安装平台上，并通过机械手4运送工件100沿设定方向运动。机械手4运送工件100从气体清洗机和等离子清洗机的一侧通过时，气体清洗机和等离子清洗机对工件100进行清理。工件100的运动速度可根据气体清洗机和等离子清洗机的清洗速度做相应设置，以保证气体清洗机和等离子清洗机能够将工件100上的异物清理干净。将两个气体喷嘴2沿工件100的运动方向间隔设置，可使工件100的表面接受两次气体喷射，有利于提高清洁质量。两个气体喷嘴2分别位于排气管道1靠近进气口110一端的两侧位置，气体喷嘴2包括一端开口的外壳，外壳靠近开口的一端与排气管道1的侧壁连接，并使排气管道1的侧壁能够封堵外壳的开口。外壳与排气管道1的侧壁之间形成容纳腔20。该结构使气体喷嘴2和排气管道1共用一个侧壁，有利于节省材料。

作为优选方案，为进一步提高气体清洗机对工件100的清洁质量，喷射口21的轴线方向与工件100的表面呈夹角设置，喷射口21朝向排气管道1的进气口110。可以理解的是，容纳腔20内的气体通过喷射口21喷射至工件100上，气体的流动方向和喷射口21的轴线方向相同。通过将喷射口21的轴线方向与工件100的表面呈夹角设置，以使气体倾斜喷射至工件100，有利于使异物与工件100分离。同时，两个气体喷嘴2位于排气管道1的两侧，两个气体喷嘴2的喷嘴均朝向进气口110，两个喷射口21的轴线的相交点位置的异物同时受到两个方向的气体喷射，更加利于异物与工件100分离，异物随气体漂浮后可直接被排气管道1吸入，清洁效果显著。本实施例中，气体喷嘴2的外壳包括导流板22，导流板22与工件100呈夹角设置，导流板22的作用在于对容纳腔20内的气体进行导向，导流板22与喷射口21的轴线方向平行，以使气体按设定的方向从喷射口21喷出。

作为优选方案，为提高清洁效率，喷射口21的长度不小于工件100的宽度。本实施例中，工件100位于喷射口21和进气口110的下方，工件100沿其长度方向(图示x方向)运动，当工件100运动至喷射口21和进气口110的正下方时，喷射口21和进气口110在工件100上的正投影能够覆盖工件100的宽度区域。进气口110呈矩形，进气口110的长度方向(图示y方向)与工件100的长度方向垂直，喷射口21的长度与进气口110的长度相同。喷射口21和进气口110的长度大于或等于工件100的宽度，当工件100从喷射口21和进气口110的正下方通过时，气体清洗机能够一次性完成对工件100的清洁处理，提高作业效率。

具体地，等离子清洗机包括主机和等离子喷枪3，等离子喷枪3与主机通过柔性管连通，通过等离子喷枪3向工件100喷射等离子体达到清洁工件100的目的。等离子喷枪3设置于气体喷嘴2的外侧壁上，并使等离子喷枪3朝向工件100。气体喷嘴2的外侧壁上设置有安装板23，等离子喷枪3设置于安装板23上。

作为优选方案，等离子清洗机设置有多个，即对应设置有多个等离子喷枪3，多个等离子喷枪3沿工件100的运动方向间隔设置。本实施例设置有三个等离子喷枪3，分别安装在两个气体喷嘴2上和排气管道1的内部，当工件100从气体喷嘴2下方通过时，工件100的表面接受三个等离子喷枪3的清洁处理，以保证清洁质量。

实施例二

参照图2所示，等离子喷枪3活动设置于气体喷嘴2的外侧壁上，并使等离子喷枪3能够沿气体喷嘴2的长度方向(图示y方向)运动。气体喷嘴2的外侧壁上设置有用于安装等离子喷枪3的安装板23，安装板23的长度方向与气体喷嘴2的长度方向平行，以及安装板23的长度方向与工件100的宽度方向平行。安装板23上还设置有驱动机构(图中未示出)，驱动机构与等离子喷枪3连接，且驱动机构能够驱动等离子喷枪3沿安装板23的长度方向运动。可以理解的是，当工件100的宽度尺寸较大时，等离子喷枪3的清洁范围无法覆盖整个工件100的宽度。因此通过使等离子喷枪3沿工件100的宽度方向运动，实现对工件100整个宽度范围的清洁处理。

当然，在其他实施例中，为适应宽度尺寸较大的工件100，还可以沿安装板23的长度方向间隔设置多个等离子喷枪3，以实现等离子喷枪3的清洁范围对工件100的宽度范围全面覆盖，提高工作效率。

实施例三

参照图2和图3所示，排气管道1包括第一管段11和第二管段12，排气管道1的进气口110设置于第一管段11上，排气管道1的出气口设置于第二管段12上，第一管段11与第二管段12呈夹角连接。本实施例中，排气管道1为圆形管道，第一管段11位于靠近工件100的一端，第二管段12位于远离工件100的一端。两个管段之间的夹角设置为90°，以使工件100表面的气体从进气口110吸入排气管道1后能够向平行于工件100的方向流通，即进气口110和出气口不在同一竖直方向上。该结构可避免气体中的异物落入进气口110附近区域，避免工件100被二次污染。

具体地，排气管道1的出气口与过滤装置(图中未示出)连接，过滤装置对排气管道1内的气体进行过滤处理，避免对空排放污染环境。

具体地，为保证工件100的清洁质量，该清洗设备还包括检测装置(图中未示出)，检测装置用于检测工件100表面的异物。本实施例中的检测装置为ccd视觉检测设备。该清洗设备对工件100清洁处理后，通过使用检测装置对工件100进行异物检测，确保工件100的清洁质量。

本实施例的技术效果为：通过设置气体清洗机和等离子清洗机，气体清洗机通过供气装置向工件100喷射气体，并通过排气装置将气体排出，可有效避免异物在工件100附近区域停留。同时，通过等离子清洗机对工件100上吸附力较强的异物以及气体清洗机难以清理的异物进行清洁处理，起到对气体清洗机互补的作用，进而保证对工件100的清洁质量。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。