一种等离子清洗机的导电结构的制作方法

本实用新型涉及一种等离子清洗机的导电结构，属于等离子清洗技术领域。

背景技术：

等离子清洗机多用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、pcb板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，清洗时，需要对内部的气体进行电离，现有的等离子清洗机内部的导电结构复杂，安装维护不方便，前期取放物料所需的时间较长，效率较低，而且清洗效果不好，均匀性较差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子清洗机的导电结构，结构简单，使用方便，能够提升作业效率，确保清洗效果。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子清洗机的导电结构，其包括箱体、正极导电柱以及设置在箱体内的导电载物框架，所述导电载物框架包括正极导电墙板以及负极导电墙板，所述箱体为金属材质且接地，所述负极导电墙板与箱体电连接，所述正极导电墙板连接正极，所述导电载物框架两端最外侧为正极导电墙板，所述导电载物框架内沿着水平方向阵列设置有多块负极导电墙板，相邻的负极导电墙板之间设有一正极导电板，所述负极导电墙板与正极导电墙板均为竖向放置且相互平行。

进一步地，所述箱体内设有多个隔离腔室，每个隔离腔室四周均设有绝缘隔离板，每个隔离腔室内均放置有一导电载物框架。

进一步地，所述导电载物框架底面与箱体内底面之间通过负极导电支撑柱来连接，所述正极导电柱穿设在导电载物框架下方的隔离板内，所述正极导电载物框架底面上设有连接负极导电支撑柱的沉孔，所述导电柱下方设有凸起的箱体定位柱，所述箱体定位柱能够插设固定在箱体上。

进一步地，所述导电载物框架还包括设置在顶面的正极导电顶板，所述正极导电顶板与导电载物框架内的每块正极导电墙板电连接，所述箱体上部设置有正极导电连接板，每个导电载物框架内的正极导电顶板均与正极导电连接板电连接，所述正极导电连接板与电源正极电连接，所述正极导电顶板与负极导电层板之间通过绝缘柱连接。

进一步地，所述正极导电顶板与正极导电连接板之间通过正极导电柱电连接，所述正极导电柱能够穿过箱体上部将正极导电顶板与正极导电连接板电连接，所述正极导电柱与箱体之间设有绝缘套筒。

进一步地，所述导电载物框架还包括水平设置在底面的负极支撑电板以及设置在负极支撑电板与正极导电顶板之间负极导电层板，所述负极导电墙板与负极支撑电板电连接，所述负极导电墙板与负极导电层板电连接，所述正极导电顶板与负极支撑电板通过绝缘柱连接，所述负极导电层板上设有允许正极导电墙板穿过的穿孔，所述正极导电墙板与穿孔不接触。

进一步地，导电载物框架上，除两端最外侧的负极导电墙板外，内部的正极导电墙板与负极导电墙板均设置有气流通孔。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本技术方案设有正极导电墙板与负极导电墙板，相互间隔设置，结构简单，使用方便，电离效果好，均匀性好；

本技术方案设有气流通孔，能够便于气体在隔离腔室内流通，便于气体分布更均匀，电离与清洗效果更好；

本技术方案设有导电定位柱，能够方便导电载物框架与箱体之间的连接与定位；

本技术方案设有绝缘套筒，能够避免正极导电柱与箱体之间接触短路，使用更加安全。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机导电结构的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机导电结构的内部结构立体示意图(去除箱体后)；

图3是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机导电结构的导电载物框架的立体示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机导电结构的正极导电顶板与正极导电柱的立体连接示意图。

标号说明：1-箱体、2-导电载物框架、3-正极导电墙板、4-负极导电墙板、5-隔离腔室、6-绝缘隔离板、7-负极导电支撑柱、8-沉孔、9-箱体定位柱、10-正极导电顶板、11-正极导电连接板、12-绝缘柱、13-正极导电柱、14-绝缘套筒、15-负极支撑电板、16-负极导电层板、17-穿孔、18-气流通孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如附图所述的一种等离子清洗机的导电结构，其包括箱体1、正极导电柱13以及设置在箱体内的导电载物框架2，导电载物框架包括正极导电墙板3以及负极导电墙板4，箱体为金属材质且接地，负极导电墙板与箱体电连接，正极导电墙板连接正极，导电载物框架两端最外侧为正极导电墙板，导电载物框架内沿着水平方向阵列设置有多块负极导电墙板，相邻的负极导电墙板之间设有一正极导电板，负极导电墙板与正极导电墙板均为竖向放置且相互平行；

电性相反的导电墙板间隔设置，能够使箱体内的气体电离更加均匀，每两个相邻的导电墙板之间即形成一个小的清洗腔，箱体为金属材质，直接接地处理，作为负极，箱体外部连接设置有电源，对正极导电墙板进行供电，导电载物框架设置在箱体内，用于放置支撑物料；

实际使用中，正极导电墙板与负极导电墙板一对一间隔设置，由于导电载物框架两端最外侧均为负极导电墙板，即正极导电墙板比负极导电墙板少一块，实际使用中，导电墙板等距平行间隔设置，将导电载物框架内的空间分隔成多个，便于放置多个物料。

一种实施例，箱体内设有多个隔离腔室5，每个隔离腔室四周均设有绝缘隔离板6，每个隔离腔室内均放置有一导电载物框架；

设置多个隔离腔室，能够提升清洗作业效率，每个隔离腔室之间相对独立隔绝，互不干扰，实际使用中，可以在不同的隔离腔室内放置不同的待清洗物料，相对隔绝独立的隔离腔室，能够减少相互之间的气体流通，确保清洗效果，减少能量损耗，隔离板采用绝缘材料制成，如塑料、玻璃、陶瓷等材质。

更具体地，导电载物框架底面与箱体内底面之间通过负极导电支撑柱7来连接，导电柱穿设在导电载物框架下方的隔离板内，导电载物框架底面上设有连接负极导电支撑柱的沉孔8，导电柱下方设有凸起的箱体定位柱9，箱体定位柱能够插设固定在箱体上；

负极导电支撑柱对整个导电载物框架起到支撑与定位的作用，本实施例中，导电定位柱为金属导电材质制成，内部设有螺纹孔，可使用沉头螺钉穿过沉孔后与导电定位柱内的螺纹孔连接，将导电支撑柱与导电载物框架锁紧固定，沉孔能够避免螺钉顶部凸出过高距离，减少对导电载物框架取放物料时的影响；导电柱下方设有箱体定位柱，箱体内底面上对应设有定位孔，箱体定位柱能够插设在定位孔内，两者之间插拔连接，实际使用中，导电载物框架通过自身重力即可确保箱体定位柱能够稳定插设在定位孔内，确保导电载物框架不会在箱体内水平移动。

一种实施例，导电载物框架还包括设置在顶面的正极导电顶板10，正极导电顶板与导电载物框架内的每块正极导电墙板电连接，箱体上部设置有正极导电连接板11，每个导电载物框架内的正极导电顶板均与正极导电连接板电连接，正极导电连接板与电源正极电连接，正极导电顶板与负极导电层板之间通过绝缘柱12连接；

正极导电连接板设置在箱体外，与供电正极连接，可采用导电性较好的铜板制成，本实施例中，为了减少导电载物框架的质量，方便安装固定，正极导电顶板中部挖空，形成近似框架的结构，绝缘柱采用塑料材质，能够避免正极导电顶板与负极导电层板之间电接触，发生短路，影响电离清洗效果。

一种实施例，正极导电顶板与正极导电连接板之间通过正极导电柱13电连接，正极导电柱能够穿过箱体上部将正极导电顶板与正极导电连接板电连接，正极导电柱与箱体之间设有绝缘套筒14；

正极导电柱可采用导电性良好的铜柱制成，正极导电柱要确保正极导电顶板与正极导电连接板之间充分良好的电连接，又要确保不能够与箱体接触，造成短路，故正极导电柱与箱体之间设置有绝缘套筒，能够保证正极导电柱与箱体之间不会直接接触，即使在使用过程或安装过程中，箱体或正极导电柱发生变形、移位，也能够确保正极导电柱不会与箱体直接接触。

更具体地，导电载物框架还包括水平设置在底面的负极支撑电板15以及设置在负极支撑电板与正极导电顶板之间负极导电层板16，负极导电墙板与负极支撑电板电连接，负极导电墙板与负极导电层板电连接，正极导电顶板与负极支撑电板通过绝缘柱连接，负极导电层板上设有允许正极导电墙板穿过的穿孔17，正极导电墙板与穿孔不接触；

本实施例中，负极导电层板为一层，正极导电墙板为一块，整个导电载物框架为“田”字型结构，拥有四个储物清洗腔室，能够同时放置四个物料盒，穿孔能够减轻整个导电载物框架的整体重量，避免正极导电墙板与负极导电层板之间接触，发生短路，还能够方便导电载物框架的安装与维护，使用更加方便、安全；

本实施例中，负极导电墙板与负极支撑电板之间、负极导电墙板与负极导电层板之间、负极导电层板与负极导电支撑板之间通过竖向设置在导电载物框架四周的金属导电电连接。

一种实施例，导电载物框架上，除两端最外侧的负极导电墙板外，内部的正极导电墙板与负极导电墙板均设置有气流通孔18；

气流通孔能够便于气体在隔离腔室内流通，便于气体更加均匀的分布，确保电离效果与清洗效果，还能够减轻质量，使用更加方便。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。