一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置的制作方法

本实用新型涉及icp干法蚀刻气体净化处理设备清洗装置，具体为种scrubber设备进气管路自动冲洗装置。

背景技术：

icp干法蚀刻设备是在蓝宝石平片衬底上用标准的蚀刻工艺将掩膜刻出图形，再利用icp蚀刻技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜，使平片蓝宝石衬底上产生图形,以此来提高led的发光率。

scrubber设备是一种气体净化处理设备,对icp在蚀刻过程中产生的尾气进行净化处理。当尾气进入到scrubber设备端顶部的管道内,尾气及尾气经化学反应产生的残留物容易附着在管道口，很容易造成管道口及附近堵塞,导致尾气无法进入scrubber设备内部净化。

尾气堵塞在scrubber设备顶部与干泵之间的管路内（即scrubber设备进气管路），造成管道内压力增大，会导致泵停，造成icp机台down机，降低产品良率，影响产能。scrubber设备顶部堵塞也会对干泵运行造成影响，减少干泵的使用寿命，增加维修成本。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于解决scrubber设备进气管路经常容易堵塞,导致泵停icp机台down机,造成蚀刻不良,影响产能；以及解决scrubber设备进气管路需要人员每天定期手动冲洗,有时候冲洗不及时导致管路的堵塞,节省了人力,很好的避免了scrubber设备进气管路的堵塞。

本实用新型是通过如下技术方案，一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，

scrubber设备，其顶部设有进气管路；所述进气管路通过水泵供水进行清洗；

所述水泵的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路清洗的自动冲洗装置。

作为本实用新型所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述自动冲洗装置，包括可设定时间间隔供电的循环时间继电器，与循环时间继电器电性连接的两位五通电磁阀，以及通过气管与两位五通电磁阀连通的气动阀；所述气动阀安装在水泵的出水管上；

所述循环时间继电器与厂务的电源连接；

所述两位五通电磁阀含有一个进气端和两个出气端；所述进气端与厂务的氮气供应管道连通，两个所述出气端分别与气动阀连通，实现气动阀的开启和关闭。

作为本实用新型所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述气动阀为upvc气动阀。

作为本实用新型所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置的优选方案：所述进气管路内壁上安装有与水泵连通的清洗喷头。

本实用新型有益技术效果：

1)操作简便,自动冲洗的功能,代替之前的手动清洗,节省人力,降低成本；

2)自动冲洗，有效的避免了scrubbber设备进气管路的堵塞，可以让其前端设备干泵良好的运行，延长干泵的使用寿命，降低维修成本；

3）避免scrubber设备进气管路堵塞，可以减少泵停导致的icp机台down机，提高产品良率，增加产能；

4）该装置完全自动运行，排除了之前干泵等设备会因scrubber端堵塞造成报警故障的风险，具有很好的实用功能。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图中：10-scrubber设备；11-进气管路；20-循环时间继电器；21-两位五通电磁阀；22-气动阀；30-水泵；40-电源；50-氮气。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

参照图1，作为本发明第一实施例，一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，

scrubber设备10，其顶部设有进气管路11；所述进气管路11通过水泵30供水进行清洗；

所述水泵30的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路11清洗的自动冲洗装置。

所述自动冲洗装置，包括可设定时间间隔供电的循环时间继电器20，与循环时间继电器20电性连接的两位五通电磁阀21，以及通过气管与两位五通电磁阀21连通的气动阀22；所述气动阀22安装在水泵30的出水管上；

所述循环时间继电器20与厂务的电源40连接；

所述两位五通电磁阀21含有进气端和两个出气端；所述进气端与厂务的氮气50供应管道连通，两个所述出气端分别与气动阀22连通，实现气动阀22的开启和关闭。

所述气动阀22为upvc气动阀。

所述进气管路11内壁上安装有与水泵30连通的清洗喷头。

本实用新型使用方法：

upvc气动阀有两个通气接口，记为a接口和b接口，其中”a接口”通气时气动阀的阀门是打开的状态,”b接口”通气时,气动阀的阀门是关闭的状态；

两位五通电磁阀21有一个进气端、两个出气端以及两个消音排气孔，进气端与厂务的氮气50供应管道连通，两个出气端分别记为a出气口和b出气口，其中“a出气口”在不通电的状态下有气体通出,“b出气口”在通电的情况下有气体通出；

将上述的a出气口接在的b接口，b出气口接在a接口；两位五通电磁阀21不通电时,a出气口对应b接口,有气体,气动阀门关闭；当两位五通电磁阀21通电时,a出气口气体断开,b出气口有气体通过,b出气口对应的a接口有气体,阀门打开,冲洗管路导通,自动给scrubber设备进气管路冲洗净化；

在循环时间继电器20上设置时间以12h05m为例，即循环时间继电器20在12h内处于断开不通电状态,到了12h后,会通电5min并以此无限循环；在循环时间继电器20、两位五通电磁阀21以及upvc气动阀的作用下，实现对scrubber设备进气管路的自动冲洗。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

技术特征：

1.一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，其特征在于：

scrubber设备（10），其顶部设有进气管路（11）；所述进气管路（11）通过水泵（30）供水进行清洗；

所述水泵（30）的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路（11）清洗的自动冲洗装置。

2.根据权利要求1所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，其特征在于：所述自动冲洗装置，包括可设定时间间隔供电的循环时间继电器（20），与循环时间继电器（20）电性连接的两位五通电磁阀（21），以及通过气管与两位五通电磁阀（21）连通的气动阀（22）；所述气动阀（22）安装在水泵（30）的出水管上；

所述循环时间继电器（20）与厂务的电源（40）连接；

所述两位五通电磁阀（21）含有一个进气端和两个出气端；所述进气端与厂务的氮气（50）供应管道连通，两个所述出气端分别与气动阀（22）连通，实现气动阀（22）的开启和关闭。

3.根据权利要求2所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，其特征在于：所述气动阀（22）为upvc气动阀。

4.根据权利要求2所述的一种scrubber设备进气管路自动冲洗装置，其特征在于：所述进气管路（11）内壁上安装有与水泵（30）连通的清洗喷头。

技术总结

本实用新型公开了一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置，Scrubber设备，其顶部设有进气管路；所述进气管路通过水泵供水进行清洗；所述水泵的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路清洗的自动冲洗装置。本实用新型有益技术效果：操作简便,自动冲洗的功能,代替之前的手动清洗,节省人力,降低成本；自动冲洗，有效的避免了Scrubbber设备进气管路的堵塞，可以让其前端设备干泵良好的运行，延长干泵的使用寿命，降低维修成本；避免Scrubber设备进气管路堵塞，可以减少泵停导致的ICP机台Down机，提高产品良率，增加产能。