每个紫外灯233的照射量为40mj

本实用新型涉及清洗机领域，尤其涉及一种自动化玻璃基板清洗装置。

背景技术：

显示面板的制程中，一般需要对玻璃基板进行清洗，实际生产中发现清洗工段的储液槽及管道内会产生微生物，使得清洗后的玻璃基板上有微生物残留，而在蒸镀过程中，微生物所在处有可能发生蒸镀层崩溃，从而导致产品不良。现有的解决方式为定期用化学药液(双氧水、氢氧化钾或氢氧化钠等)清扫管道及储液槽。但是定期清扫后，虽然细菌产生频率低了，但仍会产生不规律的细菌再发；而上述化学药液清扫作业需要停机进行，因此清扫时间带来了生产效率低下的问题；另外化学药品如氢氧化钾会对管道造成较大的损伤，从而导致了管道局部配件的更换周期缩短。

因此，有必要设计一种自动化玻璃基板清洗装置，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种杀菌效果较好的自动化玻璃基板清洗装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种自动化玻璃基板清洗装置，用于对玻璃基板进行清洗，其包括依次设置的等离子清洗机构、第一喷淋机构、第二喷淋机构、第三喷淋机构、风干机构及传输所述玻璃基板的滚筒线，自动化玻璃基板清洗装置还包括设于所述第一喷淋机构与第二喷淋机构之间的第一储液组件以及设于所述第二喷淋机构与第三喷淋机构之间的第二储液组件，所述第一储液组件包括管路连接的第一储液槽、第一泵、第一紫外杀菌机构及第一过滤器，所述第一储液组件用于回收第一喷淋机构洗涤后液体并杀菌，所述第二储液组件包括管路连接的第二储液槽、第二泵、第二紫外杀菌机构及第二过滤器，所述第二储液组件用于回收第二喷淋机构洗涤后液体并杀菌。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一紫外杀菌机构包括具有液体入口及出口的壳体、并排设置壳体内的至少两个紫外灯及设于紫外灯外侧的石英管，所述紫外灯产生的紫外线的波长分别为170-200nm或240-270nm。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述紫外灯产生的紫外线的波长分别为185nm或254nm。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，每个紫外灯的照射量为40mj，功率为80w，所述壳体中的液体流速为100-120l/min。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一紫外杀菌机构及第二紫外杀菌机构的结构相同。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一过滤器及第二过滤器的过滤直径为0.2μm。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一紫外杀菌机构的壳体两端设有开关，所述第一紫外杀菌机构的两侧并联有一可开闭的管路。

由以上技术方案可知，本实用新型的自动化玻璃基板清洗装置通过每个储液槽下游设置紫外杀菌机构，可对储液槽及管路内的液体进行持续杀菌，防止储液槽内积聚微生物，进而防止清洗后的玻璃基板上残留微生物，提高了清洗效果及产品的良率。

附图说明

图1为本实用新型自动化玻璃基板清洗装置的示意图。

图2为图1中第一紫外杀菌机构的结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。

请参图1所示，本实用新型提供了一种自动化玻璃基板清洗装置100，用于对玻璃基板200进行清洗，其包括供液机构、等离子清洗机构10、第一喷淋机构20、第二喷淋机构30、第三喷淋机构40、风干机构50、传输所述玻璃基板200的滚筒线70、设于所述第一喷淋机构20与第二喷淋机构30之间的第一储液组件以及设于所述第二喷淋机构30与第三喷淋机构40之间的第二储液组件。

供液机构、第一喷淋机构20、第一储液组件、第二喷淋机构30、第二储液组件及第三喷淋机构40通过管路60连接。具体的，管路60包括连接供液机构及第一喷淋机构20的管路61、连接第一喷淋机构20及第一储液组件的管路62、连接第二喷淋机构30与第二储液组件的管路63及将第三喷淋机构40液体排出的管路64。

所述第一储液组件包括管路62连接的第一储液槽21、第一泵22、第一紫外杀菌机构23及第一过滤器24，所述第一储液组件用于回收第一喷淋机构20洗涤后液体并杀菌。所述第二储液组件包括管路63连接的第二储液槽31、第二泵32、第二紫外杀菌机构33及第二过滤器34，所述第二储液组件用于回收第二喷淋机构30洗涤后液体并杀菌。

请参图2所示，所述第一紫外杀菌机构23包括具有液体入口2311及出口2312的壳体231、并排设置壳体231内的至少两个紫外灯233及设于紫外灯外侧的石英管232。壳体231为圆柱形，其入口2311及出口2312设于壳体231的两端，紫外灯233沿壳体231的长度方向(即液体的流向)设置。所述紫外灯233产生的紫外线的波长分别为170-200nm或240-270nm。优选的，所述紫外灯233产生的紫外线的波长分别为185nm或254nm。其中，185nm波长的紫外线主要用于分解管道及液体中的有机物，254nm波长的紫外线主要用于杀菌。

本实用新型中，每个紫外灯233的照射量为40mj，功率为80w，所述壳体中的液体流速为100-120l/min。在其他实施例中，可根据实际液体流速对紫外灯的功率进行选择。所述第二紫外杀菌机构与第一紫外杀菌机构的结构相同，在此不做赘述。

请参图1所示，所述第一紫外杀菌机构23的壳体231两端设有开关，所述第一紫外杀菌机构23的两侧还并联有一可开闭的管路，如此设置，当需要维修或更换紫外灯时，可通过打开该并联的管路，关闭第一紫外杀菌机构23两端的开关再进行维修更换，从而可以在不影响清洗进程的情况下更换配件，操作方便。

本实用新型中，第一过滤器24及第二过滤器34的过滤直径为优选为0.2μm，可以对液体中的杂质进行过滤，从而液体可以回收使用。

综上所述，本实用新型的自动化玻璃基板清洗装置通过每个储液槽下游设置紫外杀菌机构，可对储液槽及管路内的液体进行持续杀菌，防止储液槽内积聚微生物，进而防止清洗后的玻璃基板上残留微生物，提高了清洗效果及产品的良率；另外，在紫外杀菌机构内设置两种波长的紫外灯，不仅具有杀菌功能，还可进行有机物的分解；与化学药液杀菌相比，本实用新型的可24小时持续杀菌，无需停机，不影响清洗工作的进行，不仅杀菌效果好，而且安装及维护简便。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，以上实施例仅用于说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，对本说明书的理解应该以所属技术领域的技术人员为基础，尽管本说明书参照上述的实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，所属技术领域的技术人员仍然可以对本实用新型进行修改或者等同替换，而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围内。