一种单晶炉副室自动清洗装置的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉副室自动清洗装置。

背景技术：

单晶硅是太阳能电池、半导体芯片的重要材料，单晶硅的制备方法主要是直拉法，采用单晶炉实现，其工艺流程包括抽真空、检漏、压力化、熔料、稳定、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉等工艺。单晶炉副室的洁净程度对单晶硅的品质具有极大的影响，目前，对传统的单晶炉副室的清洗通常都是人工手持特制的长杆，在长杆顶端缠绕上清洗布，通过长杆的上下运动来实现。但是，由于副室高度较高，已经由原来的3米逐渐出现了高达近10米的单晶炉副室。单晶炉副室的清洗工作是个体力活，清洗时通常需要长达近7，8米长的长杆，受长杆重量和长度的限制，人工已经难以操作，而且长杆太长，在有限的空间内作业很不方便，不仅不易清洗，而且清洗效果受个人情绪因素制约，清洗过后可能会遗留很多清洗不到的死角，清洗效果很不稳定。这对于拉单晶硅棒的质量管控来讲，是一个比较头痛的问题。加之目前各个工厂的单晶炉数量急剧增加，清洗工作对工人的需求量也随之增加，人力成本大幅提高。因此，急需开发一种单晶炉副室自动清洗装置以解决上述技术问题。

有鉴于此，特提出本实用新型。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种单晶炉副室自动清洗装置，改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置，包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制升降机构、清洗机构运行的控制系统，所述升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，所述清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构，所述旋转张紧机构包括摆动气缸，所述摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台，所述方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸，所述擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的d型无尘布安装架构成，每个d型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接，所述d型无尘布安装架上缠绕有无尘布。

优选地，所述气缸的两侧分别平行设有一对导向杆，所述导向杆的一端插接于方形固定台内与其滑动连接，其另一端与对应的d型无尘布安装架固接。

优选地，所述移动机构为移动推车，所述移动推车由顶板，底板以及垂直固接于二者四角处的立柱构成，所述底板的底部四角处均设有带锁止结构的脚轮。

优选地，所述升降机构为多级气动升降桅杆，所述多级气动升降桅杆的最底部一级穿过移动推车的顶板与底板固接。

优选地，所述多级气动升降桅杆与顶板，底板的连接处各设有一组加强筋。

优选地，每组加强筋的个数为四个，形状均为直角三角形，分别均布于多级气动升降桅杆外壁与顶板上表面、底板上表面之间。

优选地，所述顶板的一侧水平设有u型推手。

本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置，具有如下有益效果。

1．本实用新型改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。

2．本实用新型通过控制系统控制升降机构和清洗机构的运行，采用程序控制，可以确保每个设定的区域不会遗漏，清洗效果更佳，清洗效率更高；旋转张紧机构可以使擦拭机构与副室内壁紧密贴合，并沿副室内壁上下旋转运动，进一步提高了清洗效果。

3．本实用新型多级气动升降桅杆与顶板，底板连接处加强筋组的设置，有效提高了装置的连接牢固性，结实耐用，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置的立体图；

图2为本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置的主体图；

图3为本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置的侧体图；

图4为本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置的俯体图。

图中：

1.移动推车101.顶板102.底板103.立柱104.脚轮105.加强筋106.u型推手2.多级气动升降桅杆3.旋转张紧机构301.方形固定台302.气缸303.导向杆4.d型无尘布安装架。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本实用新型做进一步说明，以助于理解本实用新型的内容。

如图1-4所示，分别为本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置的立体图，主视图，侧视图及俯视图。该单晶炉副室自动清洗装置包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制升降机构、清洗机构运行的控制系统，所述升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，所述清洗机构包括旋转张紧机构3和擦拭机构，所述旋转张紧机构3包括摆动气缸，所述摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台301，所述方形固定台301的各边中心处分别水平连接有气缸302，所述擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的d型无尘布安装架4构成，每个d型无尘布安装架4分别与对应的气缸302伸缩杆端部固接，所述d型无尘布安装架4上缠绕有无尘布。所述气缸302的两侧分别平行设有一对导向杆303，所述导向杆303的一端插接于方形固定台301内与其滑动连接，其另一端与对应的d型无尘布安装架4固接。所述移动机构为移动推车1，所述移动推车1由顶板101，底板102以及垂直固接于二者四角处的立柱103构成，所述底板102的底部四角处均设有带锁止结构的脚轮104，所述顶板101的一侧水平设有u型推手106。所述升降机构为多级气动升降桅杆2，所述多级气动升降桅杆2的最底部一级穿过移动推车1的顶板101与底板102固接。所述多级气动升降桅杆2与顶板101，底板102的连接处各设有一组加强筋105。每组加强筋105的个数为四个，形状均为直角三角形，分别均布于多级气动升降桅杆2外壁与顶板101上表面、底板102上表面之间。本实用新型通过控制系统控制升降机构和清洗机构的运行，采用程序控制，可以确保每个设定的区域不会遗漏，清洗效果更佳，清洗效率更高；旋转张紧机构3可以使擦拭机构与副室内壁紧密贴合，并沿副室内壁上下旋转运动，进一步提高了清洗效果。多级气动升降桅杆2与顶板101，底板102连接处加强筋组的设置，有效提高了装置的连接牢固性，结实耐用，安全可靠。

本实用新型的工作原理为：

作业前，作业员将该装置推至单晶炉副室正下方对准副室下口，将移动推车1支平对中，将蘸有酒精等清洗液的无尘布缠绕固定在d型无尘布安装架4上，通过控制系统控制多级气动升降桅杆2上升，当其顶端到达副室顶部后，四个气缸302伸缩杆同时向外推出，直至擦拭机构与副室内壁接触并形成一定的接触压力，此时摆动气缸带动擦拭机构沿副室内壁上下旋转运动以对副室内壁进行清理，局部作业完成后，四个气缸302伸缩杆同时向内收缩，使擦拭机构脱离副室内壁，多级气动升降桅杆2逐级下降，然后重复上述动作，直至将整个单晶炉副室内壁清理干净为止。

本实用新型改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。

本文中应用了具体个例对实用新型构思进行了详细阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离该实用新型构思的前提下，所做的任何显而易见的修改、等同替换或其他改进，均应包含在本实用新型的保护范围之内。