自动化玻璃基板清洗装置的制作方法

本实用新型涉及清洗机领域，尤其涉及一种自动化玻璃基板清洗装置。

背景技术：

显示面板的制程中，一般需要对玻璃基板进行清洗，实际生产中发现清洗工段的储液槽及管道内会产生微生物，使得清洗后的玻璃基板上有微生物残留，而在蒸镀过程中，微生物所在处有可能发生蒸镀层崩溃，从而导致产品不良。现有的紫外灯杀菌设计为了解决紫外线穿透力不足的缺陷，一般将紫外杀菌装置的壳体设置的较小，使得处理水量、滞留时间也跟着变小。另外，现有的设计多以杀菌为目标，忽略除了菌体污染外，在循环清洁时会洗下许多有机酸碱的问题，有机酸碱的残留同样会对清洗效果及产品的良率造成不良的影响。

因此，有必要设计一种自动化玻璃基板清洗装置，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种集杀菌和分解有机物为一体的自动化玻璃基板清洗装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种自动化玻璃基板清洗装置，用于对玻璃基板进行清洗，其包括清洗机构、对玻璃基板进行传输的滚筒线、对清洗用液体进行收集的储液槽、杀菌分解机构及过滤器，所述杀菌分解机构包括具有液体入口及出口的壳体、设置壳体内的紫外灯、设于紫外灯外侧的石英管及与所述紫外灯并排设置的光触媒体，所述光触媒体包括载体及涂覆于所述载体上的光触媒涂层。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述载体的形状为圆柱状、管状、网状或薄片状。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述光触媒体为多个，且沿壳体内液体的流动方向延伸。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述光触媒涂层为纳米级二氧化钛涂层，所述壳体为不锈钢壳体。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述紫外灯的数量为两个，其产生的紫外线的波长分别为170-200nm或240-270nm。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述紫外灯产生的紫外线的波长分别为185nm或254nm。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述清洗装置包括依次设置的等离子清洗机构、第一喷淋机构、第二喷淋机构及风干机构，所述杀菌分解机构设于所述第一喷淋机构与第二喷淋机构之间。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述紫外灯的功率为80w，所述壳体中的液体流速为50-125l/min。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述壳体的两端设有开关，所述杀菌分解机构的两侧并联有一可开闭的管路。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述过滤器的过滤直径为0.2μm。

由以上技术方案可知，本实用新型通过设置同时具有紫外灯及光触媒体的杀菌分解机构，在对清洗用液体进行杀菌的同时还可进行有机物的分解作用，使得自动化玻璃基板清洗装置的清洗效果好，且杀菌分解机构结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的自动化玻璃基板清洗装置的示意图。

图2为图1中杀菌分解机构的结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。

请参图1所示，本实用新型提供了一种自动化玻璃基板清洗装置100，用于对玻璃基板200进行清洗，其包括供液机构、清洗机构、对玻璃基板200进行传输的滚筒线50、对清洗用液体进行收集的储液槽21、泵22、杀菌分解机构23及过滤器24。

清洗装置包括依次设置的等离子清洗机构10、第一喷淋机构20、第二喷淋机构30及风干机构40，所述杀菌分解机构23设于所述第一喷淋机构20与第二喷淋机构30之间。供液机构、第一喷淋机构20、杀菌分解机构23、第二喷淋机构30通过管路60连接。具体的，管路60包括连接供液机构及第一喷淋机构20的管路61、连接第一喷淋机构20及杀菌分解机构23的管路62及将第二喷淋机构30液体排出的管路63。

所述杀菌分解机构23包括具有液体入口2311及出口2312的壳体231、设置壳体231内的紫外灯233、设于紫外灯233外侧的石英管232及与所述紫外灯233并排设置的光触媒体234。所述壳体231为不锈钢壳体，以达到抗腐蚀及耐用的效果。壳体231内表面进行镜面处理，确保无反射死角，一方面增加紫外光线的反射，增加光线利用率，另一方面防止细菌在反射死角堆积。入口2311及出口2312分设于壳体231靠近两端的位置，可设置于其端部或侧壁。本实施例找那个，壳体231中的液体流速为50-125l/min。

光触媒体234为多个，均匀分布于壳体231中且沿壳体231内液体的流动方向延伸。光触媒体234具体包括载体及涂覆于所述载体上的光触媒涂层。选用光触媒体可以更有效率的大量产生oh-等氧化自由基，将细菌细胞或其他有机分子分解。载体的形状为圆柱状、管状、网状或薄片状，如此设置，载体的比表面积较高。本实施例中载体优选为长条管状。高比表面积的载体上涂覆光触媒涂层使得光触媒涂层的面积较大，与清洗用液体之间的接触面积大幅增加，提高反应效率，进而增大可处理的进水量。优选的，光触媒涂层为纳米级二氧化钛涂层，其高密度且纳米形态的光触媒粒子可提高杀菌效果，且不会对清洗用液体造成污染，避免引入其他杂质。

紫外灯233的数量优选为两个，其产生的紫外线的波长分别为170-200nm及240-270nm。紫外灯233产生的紫外线的波长分别为185nm及254nm。紫外灯233的功率为80w。双波长的组合在杀菌的同时进一步破坏有机酸及有机碱，与同级产品相比使用较少的灯管数，而且高效能特性较同级产品体积更小。

另外，壳体231的两端设有开关，所述杀菌分解机构23的两侧并联有一可开闭的管路。如此设置，当需要维修或更换紫外灯233及光触媒体234时，可通过打开该并联的管路，关闭杀菌分解机构23两端的开关再进行维修更换，从而可以在不影响清洗进程的情况下更换配件，操作方便。

本实用新型中，过滤器24的过滤直径为0.2μm，可以对液体中的杂质进行过滤，从而液体可以回收使用。

综上所述，本实用新型通过设置同时具有紫外灯及光触媒体的杀菌分解机构，在对清洗用液体进行杀菌的同时还可进行有机物的分解作用，改善水体本身存在的污染并从源头降低toc(溶解物和有机物含碳的总量)浓度，使得自动化玻璃基板清洗装置的清洗效果好，且杀菌分解机构结构简单，使用方便。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，以上实施例仅用于说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，对本说明书的理解应该以所属技术领域的技术人员为基础，尽管本说明书参照上述的实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，所属技术领域的技术人员仍然可以对本实用新型进行修改或者等同替换，而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围内。