固体绝缘的击穿形式有三种，即电击穿、热击穿和电化学击穿。
(1)电击穿。是固体介质中存在的少量自由电子在强电场的作用下产生碰撞电离，最后导致击穿。电击穿的发展过程极快，与环境温度无关。
(2)热击穿。是固体介质在电场作用下，由于介质损耗使绝缘内部发热，如发热量一直大于散热量，温度持续上升，最后由于温度过高使绝缘损坏击穿。热击穿与环境温度、电压作用时间以及电压频率均有关系。环境温度越高、电压作用时间越长电压频率越高，击穿电压越低。
(3)电化学击穿。是由于电极边缘、电极和绝缘接触处的气隙或者绝缘内部存在气泡等发生电晕或局部放电对绝缘产生腐蚀作用而引起的击穿。
固体绝缘受潮含水量增大时，由于介质损耗增大，泄漏电流增大，很容易出现热击穿。固体绝缘在承受冲击电压作用时还有累积效应。这是因为在冲击电压作用下，固体绝缘内部受到程度不同的损害，但由于电压作用时间很短，绝缘中的局部击穿来不及扩展到整个绝缘厚度，但当多次承受冲击电压作用时，可能导致绝缘完全击穿。
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