NAND工艺路线图:20nm是主流,2013年底迈向1xnm工艺

近年来整个NAND市场因SSD及智能设备的快速发展而不断壮大,从2012年到2017年这五年间SSD销量将增长6倍,今年的NAND市场产值也将达到300亿美元,历史上第一次超过DRAM产产业。

从今年开始,世界主流NAND厂商陆续从上一代25nm工艺升级到了20nm工艺,下一代的NAND闪存会使用什么工艺呢?Techinsights公布了一份NAND工艺路线图,显示主要NAND厂商今年底会逐步升级到1xnm工艺,不同厂商则有18、16及15nm工艺的不同。

NAND工艺路线图:20nm是主流,2013年底迈向1xnm工艺

图中的ITRS(半导体国际技术路线图)并非一家公司,而是国际组织制定的、反应NAND整体工艺进展的路线图。从ITRS的路线图来看,业界在2012年的主流是20nm工艺阶段,今年的主流则是18nm,年底则会升级到16nm。

还是来看各个厂商的具体工艺路线图吧。美光、Intel合资的IMFT会在2013年Q3季度升级到18nm工艺,三星及SKHynix升级新工艺的节点也在Q3季度,但是前者会升级到16nm工艺,SK

Hynix则会升级到15nm。

东芝、SanDisk合资的NAND厂升级19nm比其他厂商要晚一些,不过升级到未来的1xnm工艺进度要比其他厂商快,今年Q2季度就会开始制程转换,只是现在还不知道东芝的1xnm工艺到底是多少。

虽然制程工艺在升级,MLC依然会是四大NAND厂商的主要选择,但是线宽的降低也给MLC带来更多的挑战,漏电流控制栅极都会导致可靠性进一步减少。低电压及低线宽(工艺越高线宽刻度越小)都会给MLC带来严重挑战。

为了进一步提高芯片密度,厂商们还准备将目前的2D工艺升级到3D工艺,这样可以在一个上硅芯片上布置2层电路,这就是常说的3D堆叠工艺。

期待在2013年晚些时候见到3D堆叠的NAND。

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