通过技术和EquipmentIntelligence（设备智能）的创新，Vantex重新定义了高深宽比刻蚀，助力芯片制造商推进3DNAND和DRAM的技术路线图。
近日，泛林集团近日发布了专为其最智能化的刻蚀平台Sense.i所设计的最新介电质刻蚀技术Vantex。基于泛林集团在刻蚀领域的领导地位，这一开创性的设计将为目前和下一代NAND和DRAM存储设备提供更高的性能和更大的可延展性。
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