泛林集团推出革命性的新刻蚀技术,推动下一代3D存储器件的制造

通过技术和EquipmentIntelligence(设备智能)的创新,Vantex重新定义了高深宽比刻蚀,助力芯片制造商推进3DNAND和DRAM的技术路线图。

近日,泛林集团近日发布了专为其最智能化的刻蚀平台Sense.i所设计的最新介电质刻蚀技术Vantex。基于泛林集团在刻蚀领域的领导地位,这一开创性的设计将为目前和下一代NAND和DRAM存储设备提供更高的性能和更大的可延展性。

泛林集团推出革命性的新刻蚀技术,推动下一代3D存储器件的制造

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