真空激光准直系统由位移监测、分布式数据采集及系统软硬件三部分组成。
采用He-Ne激光器作为准直系统的光源，它发出的激光波长为0.6328Lm，TEM00模，单色性好，光束光强分布均匀。激光源置于铝制圆筒内，并设有方向调整机构，便于激光管的方向调整；激光管前设置约束小孔，以减少由于激光管热变形带来的影响，也便于激光管损坏后的更换及复位；激励能源由专用电源供电，起辉电压约5000V，工作电压1500V，功率小于3MW。
4条真空激光准直的每一个测点设一块波带板和一个专门可控翻转机构（主控件为单片机），波带板是根据测点到光源和接收端的距离设计成具有固定焦距并采用具有一定强度及耐蚀性的不锈钢材料制作而成的菲涅尔透镜。当测量某一测点时，由监控主机命令单片机控制举起该测点波带板，让激光束通过，完成测量后，由监控主机命令单片机控制波带板落下，退出激光束。波带板、翻转机构和控制电路板均安装于密封的测点箱内。
CCD坐标仪主要由成像屏和CCD成像系统两部分组成。成像屏是经特殊工艺制造的光学元件，主要功能是将激光束经波带板后形成的衍射图象形成一个清晰的光斑。CCD成像系统是将成像屏上的光斑转化成相应的视频信号，输出到计算机。
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