在透视电镜的使用中，常会出现以下的故障：
例1：打开真空系统后，真空系统不动作，左面板上的指示灯不亮。
故障分析：空气压缩机的压力没有达到4.0kg/cm2，气动阀门压力不够，打不开。故障排除：排除空气压缩机泵机内的气体，空气压缩机自动启动开始充压，当压力达到4.0kg/cm2以后，真空系统工作。
例2：开机后，光斑无法扩大。
故障分析：以前出现过类似问题，是保险管烧损的缘故。分析此次可能也是保险管断了。打开电控制柜的前面板查找，果然是F207烧损，并且F208也有些烧糊。故障排除：更换同型号的保险管。
例3：底片夹在传输过程中被卡住。
故障分析：原来出现过底片夹被卡住现象，是因为底片尺寸不合适，过长或过短，传输过程中底片脱离了底片夹，导致底片夹被卡住。将照相室放气后，打开照相室，未发现底片脱离底片夹。继续查找，发现底片接受盒挡板螺丝松动，当传输底片时，外力作用使接受盒位移翘起，底片夹传输受阻。故障排除：拧紧螺丝，试机，传送正常。
例4：样品室抽真空时间多于正常时间。
故障分析：打开照相室，对照相室门密封胶垫涂真空脂，试机，现象依旧，可排除密封问题。样品室是依靠RP-3机械泵抽真空，检查RP-3机械泵内的机油，发现变色，有污染和氧化现象。故障排除：清洗过滤器，更换RP-3机械泵内的机油。试机，恢复正常。
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