近几年对真空断路器增加了真空度的检测，河北省南部电网各发、供电单位先后配备了测试真空度的试验设备，并广泛开展了真空度的测量工作，取得了良好的效果。气体间隙的击穿电压随压强的变化曲线见图Pa以上的真空度，击穿电压不再随压强的下降而增大。因为气体分子碰撞游离现象已经不再起作用，这时的击穿电压取决于其他条件，如电极的状况。曲线右半部的变化情况属于正常的巴申（Paschen）定律的范围。真空开关灭弧室通常工作在压强低于10Pa的条件下。考虑到结构上可能的微量漏气（极小的漏气往往检测不到，但它存在一个积累效应）以及周围的材料可能含有气体杂质，在运行中会慢慢析出，这些因素都会使真空灭弧室的压强逐渐上升。保证灭弧室有足够长的使用寿命，新标准DL/T403―2000对出厂时的真空度提出了较高的要求。
测试原理测试真空度的仪器多采用磁控放电原理，运用单片机技术通过检测真空灭弧室内残余分子的电离电流或通过检测电离的电荷量，对照电离电流或电离电荷与真空度的关系曲线，得出真空度的大小。大多测试仪器内部由许多电容器串连组成，由单片机控制给电容充电，当电容上的电压达到预定值后，控制触发的可控硅导通，从而使电容对升压线圈和励磁线圈放电，通过仪器内部元件的整流、滤波，用程序控制在灭弧室内产生脉冲电场和磁场。假设加高压后，电离出的电子具有初速度v可分解为轴向速度vz0，径向速度v在电场力作用下，电子以速度v由负极板向正极板做直线运动。
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