克服种种困难,尔必达首次为DRAM工艺引入HKMG技术

日前内存芯片厂商尔必达(Elpida)正式宣布,他们将为40nm级别的DRAM制造工艺引入高K金属栅极(High-KMetalGate,即HKMG)技术,用于开发2Gb的LPDDR2移动平台内存颗粒。

高K金属栅极技术最早出现在英特尔的45nm工艺上,随后被GlobalFoundries、台积电等厂商引入并应用在各自的产品上。不过由于高K金属栅极形成后热处理温度高较高,加上DRAM内存芯片结构的限制,因此该技术一直无法引入至DRAM芯片的生产工艺当中。

在经过尔必达研究团队的努力后,他们成功降低了高K金属栅极的热处理温度,并克服了DRAM芯片结构限制的难题,最终成为业界首家将高K金属栅极技术引入DRAM芯片的厂商。据尔必达表示,新技术的引入将令产品的性能有较大提升,同时待机功耗亦得以大幅下降。

目前尔必达已经在40nm级别的工艺中应用高K金属栅极技术,未来还将对该技术进行评估和改进,争取尽快应用在30nm和25nm工艺上。

克服种种困难,尔必达首次为DRAM工艺引入HKMG技术

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