一般通过更换真空灭弧室来解决。更换真空灭弧室时首先要测试其真空度是否合格，安装后要调整拉杆和固定螺栓的长度，测量其开距和超距是否满足要求；测量其分合闸速度、三相同期性等要满足要求。内部触头故障：造成这故障的原因一般是触头烧灼、磨损或行程不当等造成的。接触电阻可用微欧仪或直流降压法等测量；触头烧灼、磨损现象可用其动导电杆伸出长度变化来判断。故障处理同上。
弹跳时间不当：弹跳时间过大会使触头烧伤或熔焊。原因随产品机构不同而不同，一般是弹簧老化、机构磨损、调整不当等造成的，可根据产品说明书来判断和处理。真空开关组件失控：一般先查明失控原因，常见的故障有二次回路本身和操作电源故障、机构卡涩或磨损严重、保护动作、人为操作失误等，处理过程因故障不同而不同。
真空开关的使用范围很大，可靠性高，使用范围广，价格也会越来越低，已逐步取代了普通接触器、多油断路器、少油断路器、铁壳开关等，随着材料学和电子技术的高速发展，真空开关产品将尽一步向小型化、智能化，多功能发展。
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