ASML光刻机延期到货，存储产品的制程升级受阻

据业内人士透露，由于NTX：1950i沉浸式光刻机（由荷兰ASML公司制造，可生产出12英寸32nm及以上制程产品）货源短缺，部分台湾内存制造商预计在12个月内将无法完成对38nm制程产品的过渡。

由于订购的NTX：1950i沉浸式光刻机延期到货，迫使多数内存制造商不得不使用ASML公司老一代的XT系列光刻机来生产芯片，该光刻机最大只可以生产38nm制程产品。存储产品的制程升级计划的整体进度受阻，32nm产品何时才能全线生产及普及难以预计。

消息人士还称，台湾半导体制造公司台积电、三星电子和东芝表示，由于它们已经预先订购了NTX：1950i沉浸式光刻机这款先进设备，所以这几家公司的产品制程升级计划并未受阻。

8月份时iSuppli市场调配公司曾传出，ASML公司新设备可能会出现产量不足现象，这很可能会影响到今年下半年内存市场改朝换代的进度。

消息来源：[digitimes]