传感器的集成化,可大大提高其工作性能,增强它的可靠性和性价比。目前,基于硅集成工艺的传感器技术已成为传感器技术的一个研究热点,其优点具体如下:
1)性能大大提高
由于采用集成工艺技术,可使传感器特性均匀、各元件之间配置协调、匹配良好。不需要对其元件进行校正和调整。从而大大提高其整体的性能。
2)可靠性得到提高
传感器集成化,则整体体积大大缩小,这对消除传感器结构上的某些不可靠因素起到了很大作用。
3)成本得到进一步降低
其生产过程中采用的大规模集成电路等制造工艺,使得生产规模化,从而降低了传感器的生产成本。
4)功能多样化
传感器集成化的结构可实现传感器同时实现多种参数的测量。
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