在使用制冷压缩机抽空的过程中，假如压缩机自身带滑油泵时，则随着系统内真空度的提高会使滑油泵工作条件恶化，引起机器运动部件的损坏，所以当油压(指压差)小于26.7kPa时，应立即停车。为了检查是否已将系统内的水分、空气等抽尽，可在压缩机排出阀的多用孔道上接一临时管子。待系统中的大量空气排出后，将管子的另一端放入一只盛有冷冻油的容器内。若系统内还有水分、空气等，油里就会出现气泡，一直要抽到在较大的一段时间里不出现气泡，说明系统内的水分、空气等已抽尽.如果在较长一段时间内仍有气泡连续不断地产生，则可先关闭压缩机的吸入阀，检查一下压缩机本身有否泄漏，若压缩机不漏，则盛油容器里就不出现气泡，同时也说明是系统里有毛病，若压缩机有漏，气泡就会连续产生，这往往是轴封不密合所造成的，如果气泡的出现是开始大，逐渐变小，气泡出现的间隔时间也越来越长，这说明轴封从不密合到逐渐密合。若发现管端(插入面不深的情况下)有将滑油反复吸进吐出的现象，当将管端插到油内深处就看不出此现象，一般是阀片不密合所致，经重负荷使用后会好转的。
对全封闭式压缩机所组成的制冷系统，是不能用本身压缩机来抽真空的，故需要另接真空泵来完成这项工作。由较大型的压缩机或半封闭压缩机所组成的制冷系统，一般也不宜用自身压缩机抽空。
因大缸径压缩机用自身抽空有危险(因为排气量较小)，而半封闭压缩机用自身抽空时，电动机冷动条件差。用真空泵抽真空的示意图如5-14所示。
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