1)微型化
与非集成化的智能传感器相比,集成化的智能传感器体积更小。例如,医疗上用来监测病人的血液流动情况,可以将“微型压力传感器”通过注射针头送入病人的血管之中。
2)精度高
与分体结构相比,集成化的智能传感器的时间漂移会大大减小,迟兆,重复性指标将大大改善,精度得到很大的提高。
3)功能强大
利用现代芯片制造工艺,可以在同一硅片上制作出具有不同功能的多个传感器。微米技术可以在1c㎡大小的硅片上用微机械加工技术制作出能包括数千个传感器阵列,这可通过徽处理器的运算处理、模式识别、神经网络技术的应用,达到消除传感器的时变误差的不利影响,从而提高智能传感器的可靠性稳定性和分辩能力。
4)全数字化
通过微机械加工技术制作出的谐振式传感器,可以直接输出数字量。不需要A/D转换器便能与微处理器方便地接口,性能更为稳定且精度高。
5)使用方便,操作简单
它没有外部连接元件,且外接连线(包括电源,通讯线在内)数量极少。因此,接线使用上极其简便。它还可以自动进行整体自校,无需用户长时间地反复多环节调节与校验。智能化程度越高的智能传感器,其操作使用就越简便,用户只需编制简单的使用主程序就可使用。
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