电容式湿度传感器主要有陶次电容式和高分子电容式两种。
陶瓷电容式湿度传感器结构:陶瓷电容式湿度传感器的结构由多孔氧化铝感湿膜.铝基片和金电极等构成,其结构如图3-19所示。
工作原理:陶瓷电容式湿度传感器基于单元气孔的平行板电容器效应,根据所用器件电容随环境湿度的变化而变化的原理制成。在低湿时首先进行化学吸附,随着湿度的增加开始形成低物理吸附层,在高湿度的情况下会形成多层物理吸附层,电容量也会相应增大。陶瓷电容式湿度传感器的特性:Al2O3薄膜组成的陶瓷电容式湿度传感器在气孔中有一定水汽吸附时,随着环境湿度的变化,膜电阻和膜电容都将改变。其特性曲线如图3-20所示,在低湿度时,曲线线性良好,到高湿度时线性变差,若湿度进一步提高,特性曲线变得平缓。在实际的应用中,线性不良和在高湿环境中长期工作容易老化是多孔Al2O3湿度传感器的一大缺点。
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