机组在压力检漏合格后，为了进一步验证在真空状态下的可靠程度，则需要进行真空检漏。真空检漏是考核机组气密性的重要手段，也是气密性检查的最终手段。
具体检查方法如下:
①将机组通往大气的阀门全部关闭;
②用真空泵将机组抽至50Pa的绝对压力;
③记录当时的大气压力B1温度t1，以及U形管上的水银柱高度差P1;
④保持24h后，再记录当时的大气压B2、温度t2，以及U形管上的水银柱高度差P2;
⑤U形管水银差压计只能读出大气压与机组内绝对压力的差值，即机组内的真空度。
绝对压力为大气压和温度的变化而引起机组内气体绝对压力的变化。若机组内的绝对压力升高(或真空度下降)不超过5Pa(制冷量小于或等于1250kW的机组允许不超过10Pa)，则机组在真空状态下的气密性是合格的。
机组由于泄漏而引起绝对压力的增大量为
真空检漏采用U形管水银差压计时，在24h内很难确定机组气密性是否合格。这是因为差压计上的每一个小格的值为136Pa，仪器本身的误差加上人为观察的误差远远超过5Pa。因此，若以U形管水银差压计作为测量仪器时，应放置较长时间(一周或更长时间)。通常，真空检漏时除采用U形管绝对压力计外，更多地采用旋转式真空计(麦氏真空计)。这种真空计可以直接测出机组内的绝对压力，可读至0.133Pa的绝对压力，测量方便准确。
同样，绝对压力值也与测量时的温度有关，也应扣除因温度变化而产生的影响。机组内绝对压力的升高值(机组泄漏值)为
⑥若机组真空检验不合格，仍需将机组内充以氮气，重新用压力检漏法进行检漏。消除泄漏后，再重复上述的真空检漏步骤，直至达到真空检漏合格为止。
⑦如果机组内有水分，则当机组内压力抽到当时水温对应的饱和蒸汽压力时，水就会蒸发，从而很难将机组抽真空至绝对压力133Pa以下。此时，应将机组的绝对压力抽至高于当时水温对应的饱和蒸汽压力，以避免水分蒸发。通常抽至9.33kPa(对应水的蒸发温度为44.5℃)，同样保持24h，并记录试验前后大气压力、气温及U形管上水银的高度差。考虑大气压及温度的影响后，若机组内绝对压力上升不超过5pa，则同样认为设备在真空状态下的气密性是合格的。但此时不宜使用旋转式麦氏真空计测量机组内的绝对压力，因为麦氏真空计仅适用于测量理想气体。空气可近似认为是理想气体，而机组内含有水分，则是空气与水蒸气的混合气体，与理想气体相差甚远，因此，测量误差较大。此时，可选用薄膜式或其他形式的真空计。
机组内含水分后的真空检漏是一项较难把握的工作，因此，一般应在机组内不含水分的情况下进行真空检漏。机组内若含有水分后，除了上述检漏方法外，可采用一种简易的气泡数，放置24h后，再启动真空泵，记下逸出油面的气泡数。若二者相差不多，则视为机组的气密性是合格的。
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