栅式传感器的测量电路

1)光电转换栅式传感器的测量电路

主光栅和指示光栅做相对移动产生了莫尔条纹,莫尔条纹需要经过转换电路才能将光信号转换成电信号。光栅传感器的光电转换系统由聚光镜和光敏元件组成,如图14-5(a)。当两块光栅做相对移动时,光敏元件上的光强随莫尔条纹移动而变化,如图14-5(b)所示。在a处,两光栅刻线重叠,透过的光强最大,光电元件输出的电信号也最大;c处由于光被遮去一半,光强减小;d处的光全被遮去而成全黑,光强为零;若光栅继续移动,透射到光敏元件上的光强又逐渐增大,因而形成了如图14-5(b)所示的输出波形。

转换153

光敏元件输出的波形可见如下公式:

微信截图_20190821075852

2)辨向原理

为了辨别主光栅是向左还是向右移动,仅有一条明暗交替的莫尔条纹是无法辨别的,因此,在原来的莫尔条纹上再驾驶室一条莫尔条纹,使两个莫尔条纹信号相差π/2相位。实现的方法是在相隔1/4条纹间的位置上安装两只光敏元件,如图14-6所示。

转换154

两种信号经整形后得到方波U1’和U2’。当主光栅右移(见图b、d)时,U1’的微弱信号与U2’相与得到正向移动脉冲,从与门Y1输出;而U1’倒相后微分,在与门Y2相与,由于在U1’的微分脉冲出现时,U2’是低电位,故Y2无输出脉冲。当主光栅左移(见图c、d)时,U1信号超前U2信号π/2相位,U1’的倒相方波经微分后,在与门Y2上相与;U1’微分信号与U2’在与门Y1上相与的结果正好和右移情况相反,而Y1无脉冲信号输出,Y2有信号脉冲输出。这样就实现了主光栅左右移动的方向辨别。

3)细分原理

如果仅以光栅的栅距做其分辨单位,只能读到证书莫尔条纹;倘若要读出位移为0.1μm,势必要求每毫米刻线1万条,这是目前工艺水平无法实现的。因此,只能在有合适的光栅栅距的基础上,对栅距进一步细分,才可能获得更高的测量精度。常用的细分方法有倍频细分法、电桥细分法等。这里介绍四倍频细分法,在一个莫尔条纹宽度上并列放置了4个光电元件,如图14-7(a)所示得到相位分别相差π/2的四个正弦周期信号。用适当电路处理这一系列信号,使其合并得到如图14-7(b)所示的脉冲信号。每个脉冲分别和四个周期信号的零点相对应,则电脉冲的周期为1/4个摩尔条纹宽度。用计数器对这一系列脉冲信号技术,就可以读到1/4个莫尔条纹宽度的位移量,这样便得到光栅固有分辨率的4倍。此种方法称为四倍频细分法。若再增加光敏元件,同理可以进一步提高测量分辨率。

转换155

4)磁栅传感器的数字测量原理

在实际应用中,一般采用两个多间隙静态磁头来读取磁栅上的磁信号。若两磁头间距为微信截图_20190821080023(n为整数),那么,两激磁信号的相差为π/4。由前述内容可知,两磁头输出信号相差为π/2.若两磁头的激磁绕组加同样的正弦激磁信号,则两磁头的输出信号为

微信截图_20190821080052

经滤除高频载波后,得到与位移量x成比例的信号为

微信截图_20190821080124

U1’、U2’是与位移x成比例的信号,经过适当处理后便可得到位移量,这就是所谓的鉴幅法。

若激磁绕组上施加相位差为π/4的正弦激励信号,或将输出信号移相π/2,则两磁头输出信号为

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