这种传感器简便、体积小,坚固以及设计简单,除了广泛用于微波炉、电热毯、空调等家用电器以外,还广泛用于汽车、船舶、控制设备、工业测量等。另外,还开发研制了一些新型传感器,例如,利用半导体PN结中电流/电压特性随温度变化的半导体集成传感器,利用光纤传播特性随温度变化或半导体透光随温度变化的光纤传感器,利用弹性表面波及振子的振荡频率随温度变化的传感器,利用核四重共振的振荡频率随温度变化的NQR传感器,利用在居里温度附近磁性急剧变化的磁性温度传感器以及利用液晶或涂料颜色随温度变化的传感器等。
以上这些都是利用物理量随温度变化的传感器。而作为传感器需要具有以下一些功能,即灵敏度高、线性好、响应速度快、可集成化、可遥测以及易于不同微型计算机等信号处理电路的连接。这些实例有用于超高精度时钟用晶振温度补偿的半导体集成温度传感器;用于LSI用基片研磨装置中的弹性表面波传感器;温度精度为-0.5℃~+0.5℃,可遥测而提高研磨面精度的传感器等。
非接触方式是通过检测光传感器中红外线来测量物体的温度,例如,利用半导体吸收光而使电子迁移的量子型与吸收光而引起温度变化的热型传感器。非接触传感器广泛用于非接触温度传感器、辆射温度计、报警装置、来客告知器、火灾报警器、自动门、气体分析仪、分光光度计、资源探测等。
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