栅式数字传感器主要有光栅和磁栅两种,它们广泛用于测量位移以及与位移有关的非电物理量。
根据栅式数字传感器的工作原理,可分为光栅和磁栅两种。光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件。按其原理和用途,它又可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅是利用光的衍射现象制造的,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅主要利用莫尔(Moire)现象,测量长度、角度、速度、加速度振动等物理量。计量光栅按应用范围不同又分为透射光栅和反射光栅两种,具体制作时又可制作成线位移的长光栅和角位移的圆光栅。
按光栅的表面结构,又可分为幅值光栅和相位(闪耀)光栅等。幅值光栅是利用照相复制工艺加工成栅线与缝隙为黑白相间结构,故又称为黑白光栅。相位光栅的横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工。除了上述光栅外,目前还研制了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。
磁栅是一种磁电转换器,其工作原理类似录音带。
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