随着人们对各种设备小型化、集成化多功能化要求的不断提高,微传感器的开发和利用越来越受到人们的重视。现在微传感器已成为最基本的电子元器件,且被广泛地应用在航空航天、生命科学.工业自动化环境保护家用电器,汽车行业农业等各个领域,可毫不夸张地说,对微传感器的使用已经渗透到我们生活中的各个方面。
传感器的日益小型化、集成化,很大程度上得益于微机械加工技术的进步。伴随着微机械加工技术的出现,微机械传感器应运而生,这种新型的传感器与经典的传感器相比,具有体积小、易集成,成本低、功耗小、速度快、可靠性高以及精度高等特点。把这种传感器与集用和才寺人作玫仙人全全的仙人而智能传感器是本世纪传感器技术发展的主要方向,因此,对微机械加工型智能传感器的研究,已经成为国内外传感器研究的热点。
微机械加工型智能传感器的发展,首要的便是基于微机械加工的技术特点和工艺特点。这主要是顺应未来传感器的微型化和集成化、低功耗和低成本、高精度和长寿命、多功能和智能化的需求。而微机械与集成电路以及微机械与光路和集成电路的一体化集成,能充分满足上述要求。因此微机械加工型智能传感器的发展在某种程度上代表了未来传感器的发展趋势。
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