电荷耦合器的工作原理——电荷转移

在讨论电荷转移之前,我们以MOS电容器这一基本单位为例探讨由电位方程引出的一些结论。电荷耦合器的工作原理——电荷转移

对于任一个MOS电容来说,它可以用下面的方程加以描述

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不难看出,深耗尽层状态时,表面势力Us特别大,表面处电子的静电势能-qUs特别低,形成了电子的深势阱,其深度为qUs,那些代表信息的电子电荷就存储在这一势阱中。还需指出的是,后面两项在通常情况下数值很大,因此由US≈UG,也就是US和UG基本上是呈线性关系的,偏置电压越高,势阱越深。

MOS电容器的电荷存储可由下式求得:QS=CiUGA式中,A为MOS电容栅电极尺寸。

由此可见,光敏元面积越大,其光电灵敏度就越高。对于A=10μm×10μm的电容器而言,QS近似为105个电子。当光生电荷超过MOS电容的存储量时,电荷量将从势阱溢出,于是就出现常说的“过荷开花”现象。如图12-5所示一个三项驱动工作的CCD中电荷转移的过程。

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假设电荷最初存储在电极①(加有10V电压)下面的势阱中,如图12-5a所示,加在CCD所有电极上的电压,通常都要保持在高于某一临界值电压Uth,Uth称为CCD阈值电压,设Uth=2V,所以每个电极下面都有一定深度的势阱。显然,电极①下面势阱最深,如果逐渐将电极名的电压由2V增加到10V,这时①②两个电极下面的势阱具有同样的深度,且合并在一起,原先存储在电极①下面的电荷,就要在两个电极下面均匀分布,如图12-5d、e所示,然后,再逐渐将电极四的电压降到2V,使其势阱深度降低,如图12-5d、e所示,这时电荷全部转移到电极②下面的势阱中,此过程就是电荷从电极①到电极②的转移过程。如果电极有许多个,可将其电极按照1、4、7、…2、5、8、…和3、6、9、…的顺序分别连接在一起,加上一定时序的驱动脉冲,如图12-5f所示,即可完成电荷从左向右转移的过程,用三相时钟驱动的CCD称为三相CCD。

必须强调指出,CCD电极间隙必须很小,电荷才能不受阻碍地从一个电极下转移到相邻电极下。这对于如图12-5所示的电极结构是一个关键问题。如果电极间隙比较大,两相邻电极间的势阱将被势垒隔开,不能合并,电荷也不能从一个电极向另一个电极完全转移,CCD便不能在外脉冲作用下正常工作。

以电子微信号电荷的CCD称为N型CCD。而以空穴为信号电荷的CCD称为P型沟道CCD,简称为P型CCD。由于电子的迁移率(单位场强下的运动速度)远远大于空穴的迁移率。因此N型CCD比P型CCD工作频率高得多。

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