电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点:
1、温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚徽。而电阻式传感器有电阻，电感式传感器有铜损等，易发热产生零漂。
2、结构简单、适应性强
电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量，能工作在高温、低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。
3、动态响应好
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10-5N)，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很既，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆替的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、既时压力等。
4、可以实现非接触测量，具有平均效应
例如非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测最时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上述优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辩力高，能敏感0.01μm甚至更小的位移，由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。
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