湿度传感器的特性参数——感湿特征量

湿度传感器是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的。它有将湿度物理量转换成电信号的功能，这些功能可以通过与湿度有关的电阻或电容的变化，长度或体积的胀缩以及结型器件或MOS器件的某些电参数的变化，例如PN结击穿电压、电流放大系数、反向漏电流、MOS器件的沟道电阻等的变化而得以实现。湿度传感器的特性参数主要有:湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差`感湿特征量一一相对湿度特性曲线等。

湿度传感器都有其自身的感湿特征量，例如电阻、电容、击穿电压、沟道电阻等。湿度敏感器件的感湿特征随环境相对湿度(或绝对湿度)变化的曲线，称为器件的感湿特征量一一环境湿度特征曲线(简称感湿特性曲线)。图3-2是二氧化钛-五氧化二钒湿度敏感器件的感湿特性曲线。

湿度敏感器件的感湿特性曲线表示器件的感湿特征基随环境相对湿度的变化规律。从感湿特性曲线可以确定器件的最佳使用范围及其灵敏度;通过器件的感湿特性曲线还可以探讨改进器件性能的途径和工作机理。性能良好的湿度敏感器件的感湿特性曲线，应当在整个相对湿度范围内变化连续，其斜率一致(即线性)而且大小适中。斜率过小，曲线平坦，灵敏度降低;斜率过大则曲线太陡，将造成测量上的困难。