湿度传感器是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的。它有将湿度物理量转换成电信号的功能，这些功能可以通过与湿度有关的电阻或电容的变化，长度或体积的胀缩以及结型器件或MOS器件的某些电参数的变化，例如PN结击穿电压、电流放大系数、反向漏电流、MOS器件的沟道电阻等的变化而得以实现。湿度传感器的特性参数主要有:湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差`感湿特征量一一相对湿度特性曲线等。
湿度传感器能较精确地测量环境相对湿度(或绝对湿度)的最大范围，称为湿度敏感器件的湿度量程。由于各种湿度敏感器件所使用的功能材料不同，以及器件工作所依据的物理效应或化学反应的不同，器件不一定能够在整个相对湿度范围内(0~100%RH)都具有可供使用的湿度敏感特性。某些湿度传感器只适用于某一段相对湿度范围。例如，目前使用较普通的氧化锂湿度敏感器件的每片使用范围就只有大约20%RH左右，因此使用时就需要多片组合。此外，在生产实践中，不同的生产或生活条件要求湿度敏感器件在不同的相对湿度范围内工作。例如，木材的干燥系统中，湿度敏感器件工作的湿度范围主要在0~40%RH;而在室内的空气调节系统中，湿度敏感器件工作的湿度范围则主要在40%RH一70%RH;用于气象探测的湿度敏感器件则应能在0~100%RH的范围内工作。因此，湿度敏感器件的湿度量程是表示器件使用范围的特性参数。显然，器件的湿度量程以0~100%RH为最佳:湿度量程越大，器件的使用价值就越大。
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