利用压电材料制成的力敏传感器相对于硅压阻式力敏传感器来说具有以下突出优点:第一,用PN结隔离的电阻只能用在80℃以下温度,质量较好的压阻式力敏传感器可使用到120~150℃。但是压电式力敏传感器可在250℃的高温下使用,甚至可用于燃烧废气压力或流量的测量。第二,压电式力敏传感器有很高的固有频率和较低的噪声,因此频率响应快。另外它的灵敏度比较高,所以
利用压电材料制成的力敏传感器相对于硅压阻式力敏传感器来说具有以下突出优点:
第一,用PN结隔离的电阻只能用在80℃以下温度,质量较好的压阻式力敏传感器可使用到120~150℃。但是压电式力敏传感器可在250℃的高温下使用,甚至可用于燃烧废气压力或流量的测量。
第二,压电式力敏传感器有很高的固有频率和较低的噪声,因此频率响应快。另外它的灵敏度比较高,所以可用于测量快的压力变化场合,如可测量爆炸时的冲击波压力。
第三,压电式力敏传感器是一种发电式的传感器,它不需要外加额外工作电源,而是通过压电效应所产生的电荷或电压的放大测量转换为压力、加速度振动等物理量,这样就可避免使用外加电源所带来的噪声的影响。
压电式力敏传感器的基本原理是利用压电材料的压电效应做成的。压电式力敏传感器既有用于测力的,也有用于力的其他导出参数如加速度等力学量的测量。
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