湿度传感器是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的。它有将湿度物理量转换成电信号的功能，这些功能可以通过与湿度有关的电阻或电容的变化，长度或体积的胀缩以及结型器件或MOS器件的某些电参数的变化，例如PN结击穿电压、电流放大系数、反向漏电流、MOS器件的沟道电阻等的变化而得以实现。湿度传感器的特性参数主要有:湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差、感湿特征量一一相对湿度特性曲线等。
湿度敏感器件的湿度温度系数是表示器件的感湿特性曲线随环境温度而变化的特性参数。在不同的环境温度下，器件的感湿特性曲线是不相同的。显然，器件感湿特性曲线随环境温度的变化越大，由感湿特征量所表示的环境相对湿度与实际上的环境相对湿度之间的误差就越大。因此，环境温度的不同直接影响器件的测湿误差。图3-3给出了Co34，-TiO2湿度敏感器件的感湿特性曲线随环境温度的变化情况。
湿度敏感器件的湿度温度系数定义为:在器件感湿特征恒定的条件下，该感湿特征量值所表示的环境相对湿度随环境温度的变化率。若以w表示器件的湿度温度系数，则有
其单位为%RH（℃）-1
由期间的湿度温度系数a值，即可得知期间因环境温度变化所引起的测湿误差，例如，器件的a=0.3%RH（℃）-1时，如果环境温度变化20℃，就将引起6%RH的测湿误差。
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