氧化膜厚度的测量方法

氧化膜厚度的测量，常规检验方法采用的是无损“涡流法”。其测量原理为在交变磁场中的金属，由于电磁感应在金属中将产生感应电流，且电流在金属内部形成很多短路回路，在外磁场足够强时会使金属发热，这个电流称为涡流。金属导体内同样条件下涡流的渗透深度随材料不同而不同。因而“涡流测厚仪”的测头装置产生的高频电磁场使置于测头下面的导体产生涡流，其振幅和相位是导体与测头之间的外导电覆盖层厚度的函数。在一段型材上取均匀分布的若干作为测量点，每点测量若干次取平均值，平均值中*小的那个就是*小局部膜厚。

各点的平均值再取平均值就是平均膜厚。对于铝型材表面形状随变时，测量时要注意边缘效应带来的测量误差。对于铝型材表面形状随变时，测量时要注意边缘效应带来的测量误差；铝型材曲率会带来测量误差，曲率减小则影响增大，因此弯曲试样表面测量不可靠；膜层表面的粗糙程度对测量有影响。粗糙表面会带来系统误差和偶然误差；温度变化会带来测量误差，因而必须保持测量装置与被测件温度大致相近。除以上的测量误差外，对于设备使用中应注意基体金属导电率、临界厚度、表面粗糙度、测量时施加的压力、探头的垂直度等都会给测量结果带来误差。